半导体用环形线即把传统金刚石线首位相连形成一个闭环,可以实现单向高速高速切割的线锯。环形线锯切割时切割无换向使切割表面无换向纹(换向的切割线痕),定制半导体用环形线,切割面形精度较高,改变进给方向可切割二维曲面。环形金刚石线不像传统长线一样有正反向,需要加速减速过程,国内半导体用环形线,半导体用环形线单向切割,可以把线速度大幅提高,可达60m/s的线速度。半导体用环形线锯技术在国外工业先进国家已有较长的发展历史,半导体用环形线厂家,技术成熟,配套齐全,应用广泛,半导体用环形线,甚至在军事和航天用的贵重敏感材料的精密切割工程中发挥关键的作用。
我国晶圆芯片加工进入大规模发展的黄金时代,其上游的晶圆切割加工链中仍然为大量的金刚石带锯所占据。
目前晶圆直径正向更大方向发展,从原來的 8、10、12、15英寸甚至到了 20 英寸,越大越适合半导体用环形线切割,如图 17,某晶圆芯片公司的 Φ350mm晶圆在半导体用环形线立式机切片,效果十分满意,其工艺参数为:
线速度 38m / s,进给速度 15 ~ 30mm /min,切割面精度 0.02 ~ 0.05μm,片厚 2 ~ 5mm。
亚表面损伤裂纹深度与金刚石线速度vs、进给速度vw、切割材料性质、电镀锯丝上金刚石颗粒粒度分部等有很大关系,大量试验表明单颗金刚石磨粒切割硬脆材料时以崩碎切除为主,切割过程虽以脆性去除为主但仍有塑性变形区的存在,而切割材料成分决定着塑性变形区。
在半导体用环形线切割过程中只要设备运动精度和切削进给、锯丝线速度等切削条件达到一定要求可以实现硬脆材料的塑性加工
半导体用环形线厂家-【元素工具】(在线咨询)-半导体用环形线由郑州元素工具技术有限公司提供。郑州元素工具技术有限公司(www.yuansutools.com)为客户提供“环形金刚石线锯,金刚石超长线,金刚石毛刷,砂管等金刚石工具”等业务,公司拥有“元素工具”等品牌。专注于金刚石工具等行业,在河南郑州有较高知名度。欢迎来电垂询,联系人:徐女士。本公司(www.hardsharp.com)还是从事玉石线切割机,硅开方线切割机,石材切割机的厂家,欢迎来电咨询。